Saures Ätzen

Das saure Ätzen ist die erste Wahl beim Ätzen von Innenlagen. Zur Entfernung des freiliegenden Kupfers wird Kupferchlorid, Schwefelsäure oder Eisen-III-Chlorid verwendet.


Die Ätz-Module verfügen über oszillierende Düsen, die entweder parallel oder im rechten Winkel zur Förderrichtung angeordnet sind. Dadurch erreicht SCHMID  eine gleichmäßige Ätzrate auf der gesamten Plattenfläche. Eine permanente Überwachung der Prozessparameter garantiert ideale Ätzergebnisse.

  • Hohe Ätzqualität bei hohem Ätzfaktor durch Einsatz des FineLine-Sprühsystems
  • Gleichmäßiges Ätzbild durch intermittierendes Ätzen mit Einzeldüsenansteuerung
  • Stabiler Prozess

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