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Für die Herstellung von Substraten und ultradünnen Flexmaterialen bietet der vertikale Transport mit Klemmrahmen entscheidende Vorteile. Kein Pfützeneffekt, der berührungslose Transport und identische Prozessbedingungen auf beiden Seiten sorgen für eine außergewöhnlich hohe Uniformität. Das wartungsfreundliche Design und das robuste, anpassungsfähige Klemmsystem garantieren maximale Verfügbarkeit.


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Sprühprozesse ohne Pfützeneffekt

Als Antwort auf die Forderung nach HDI-Leiterplatten und Substraten mit extrem feinen Strukturen entwickelte SCHMID den vertikalen Transport mit Klemmrahmen, der für folgende Sprühprozesse verfügbar ist: Reinigen, Entwickeln, Strippen, Flash-Etching, Ti-Etch und MEC etch bond.

Das berührungslose Klemmsystem ermöglicht ein direktes Aufbringen von Medium ohne Störung des Sprühbilds und ohne jegliche Art von Rollenabdrücken. Eingesetzt in einem vertikalen Prozess werden hervorragende Ergebnisse auf beiden Seiten des Substrats erzielt, da jeweils identische Prozessbedingungen herrschen.

Bei allen Prozessschritten werden komplette Düsenrahmen eingesetzt, bei denen sich die Distanz zum Substrat, die Düsenanzahl und die Sprühwinkel leicht anpassen lassen. Gleichzeitig kann der Durchfluss für jeden Düsenstrang separat eingestellt werden – das spart Chemie und erhöht die Uniformität. Durch die gleichmäßige Druckverteilung erreichen die vertikalen Produktionsanlagen von SCHMID ein sehr ausgeprägtes Sprühbild. Im Vergleich zur horizontalen Bearbeitung verkürzt sich die Prozesszeit um bis zu 30 %.

Die vertikalen Produktionsanlagen von SCHMID eignen sich für Reinraumanwendungen, da sie über einen getrennten Arbeits- und Wartungsbereich verfügen. Das vollautomatische Be- und Entladen der Klemmrahmen mit optionalem Puffersystem sorgt für eine stabile Produktion mit hohen Durchsätzen und bietet erhebliche Ertragssteigerungen.

  • Kein Pfützeneffekt: Symmetrische Ergebnisse auf beiden Seiten des Substrats
  • Außergewöhnlich hohe Uniformität
  • Verkürzte Prozesszeit im Vergleich zur horizontalen Bearbeitung
  • Vollautomatisches Klemmsystem für verschiedene Plattengrößen und -stärken
  • MES-Schnittstelle für alle prozessrelevanten Parameter
  • Geeignet für Reinraumanwendungen

Plattengröße:

  • max. 610 mm x 610 mm

Plattenstärke:

  • min. 0,025 mm
  • max. 2,4 mm

Plattengewicht:

  • max. 1,8 kg

Plattenmaterial:

  • FR4
  • FR 4 High Tg
  • BT
  • Polyimide
  • Re-enforced Polyimide
  • PTFE