Tray Loader

Für das Aufbringen der Antireflexionsschicht mit einer PECVD-Anlage müssen die Wafer aus Carriern entnommen und auf CFC-Trays abgelegt werden. Ein heikler Prozessschritt. Durch den Tray Loader von SCHMID ganz einfach.


Die Wafer werden in Carriern der Maschine zugeführt. Auf zwei unabhängig voneinander arbeitenden Transportbändern werden die Wafer für das Beladen ins CFC-Tray bereitgestellt. Leere Trays werden auf das Beladeniveau befördert und fixiert. Mithilfe von Vakuumbändern werden die Wafer über dem Tray platziert sowie abgelegt. Sobald das Tray mit Wafern beladen ist, wird es an die Folgemaschine übergeben.

  • Niedrige Bruchraten
  • Schonender Transport
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