Horizontal Tube Furnace

Rohrofen für POCl3 und Co-Diffussion.


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Hochreines Diffundieren, Annealing und Oxidieren

Der Diffusionsofen HTF ist mit bis zu 4 einzeln steuerbaren Rohren ausgestattet. Die Be- und Entladung der Boote in die Rohre erfolgt automatisch über Beladeeinheiten. Pro Zyklus wird in einem Rohr ein Boot geladen, bei „Back to back“ Beladung kann ein Boot mit 500 Wafern bestückt werden. Nach dem Einfahren und Aufheizen startet der Prozess mit einem Stabilisierungsschritt. Danach wird Stickstoff als Trägergas für die POCl3-Flüssigkeit eingesetzt. Als Prozessabschluss findet ein Oxidationsschritt statt. Nach Ablauf der eingestellten Diffusionszeit wird das Rohr zur anschließenden Entladung geöffnet.

  • Sehr homogene und reproduzierbare Emitterbildung
  • Bis zu 4 unabhängig betriebene Quartzrohre, dadurch Redundanz/hohe Verfügbarkeit
  • Digitale Prozess- und Temperaturkontrolle für jedes einzelne Prozessrohr
  • „Back to Back“ Beladung möglich
  • Verfügbar als vollautomatisches System inkl. automatisierter Boot-Beladung
  • Wasserkühlsystem zur Verhinderung der gegenseitigen Beeinträchtigung der Rohre
  • Konfigurierbar sowohl für POCl3 Diffusion wie auch als Hochtemperaturschritt für CO Diffusion