Modernisierung

Ihre Produktionsanlage von gestern kann schon bald eine Produktionsanlage von morgen sein. Denn nach einer Maßnahme durch unsere Experten ist sie so gut wie neu – und das zu einem deutlich günstigeren Preis als eine Neuanschaffung.


Rüsten Sie Ihre Anlagen kostengünstig nach

Upgrade: Abluftvolumenstromregler

Durch den Einsatz eines Abluftvolumenstromreglers sind konstante Abluftströme auch bei Schwankungen im Abluftnetz gewährleistet. Dies hat einen stabileren Prozess in Hinsicht auf Chemieverbrauch zur Folge. Auch wird die Sicherheit des Bedienpersonals erhöht.

Upgrade: Wassermaske

Durch den Schutz der Wafer-Oberseite mit einem beheizten Wasserfilm (bis 50 °C) erfolgt die Kantenisolation lediglich mit minimalem Umgriff der Chemie auf die Vorderseite. Eine individuelle Benetzung für jede Spur bei Druckdifferenzen wird ermöglicht durch verstellbare Öffnungszeiten der Magnetventile je Spur. Ein weiterer Vorteil der patentierten Wassermaske besteht in einer höheren Ätzrate aufgrund der erwärmten Wafer, was einen höheren Durchsatz zur Folge hat.

Upgrade: Optimierte Transportwalze

Durch den Einsatz einer optimierten Transportwalze erfolgt die einseitige Ätzung zur Kantenisolation mit minimalem Umgriff der Chemie auf die Vorderseite des Wafers. Es wird sowohl der Chemieverbrauch verringert als auch ein homogenes Ätzergebnis erzielt.

Upgrade: Härtere Quetschwalzen

Durch den Einsatz der neuen, härteren Quetschwalzen lässt sich die Verschleppung um 50 % reduzieren, wodurch der Spül- und Abwasserverbrauch um ca. 20 % gesenkt werden kann. Da die neuen Quetschwalzen deutlich einfacher zu reinigen sind, lässt sich auch die Lebensdauer der Walzen erhöhen. Der Austausch der alten Quetschwalzen (Softrollers) lässt  sich problemlos durchführen.

Upgrade: Opt. Reflexionsmessgerät

Mit Hilfe des von SCHMID entwickelten Reflexionsmessgeräts werden Wafer direkt nach dem Texturierungsprozess im Auslauf überprüft. Durch diese Inline-Prozesskontrolle wird eine gleichbleibend hohe Qualität der texturierten Wafer gewährleistet. Etwaige Veränderungen im Prozess fallen direkt auf, wodurch schnell reagiert werden kann. Dadurch lassen sich allgemein Ertragsverbesserungen erzielen.

Upgrade: Niederhalterwelle ohne O-Ringe

Es werden nun neu konzipierte Niederhalterwellen ohne O-Ringe eingesetzt. Diese hinterlassen keine Abdrücke auf den Wafern. Zudem ermöglicht der modifizierte Vorschub eine einfache Reinigung der Wellen. Eine organische Verschmutzung der Wafer durch das Transportsystem ist damit ausgeschlossen.

Upgrade: MES – SECS/GEM-Interface

SECS/GEM-Schnittstellen (Gerätekommunikationsschnittstellen) realisieren die Verbindung zwischen der Anlage und der übergeordneten Ebene (MES – Manufacturing Execution System). Über den SECS/GEM-Standard werden Produktions- und Anlagendaten, Alarme, Prozesswerte, Prozessparameter, etc. übergeben und von einem MES verarbeitet und ausgewertet.

Upgrade: Leitfähigkeitsmesssystem

Durch den Einsatz eines Leitfähigkeitsmesssystems wird die Verschleppung aus dem Prozessmodul überwacht, wodurch die Prozessstabilität im Kaskadenspülmodul gewährleistet wird. Des Weiteren können die Betriebskosten durch die Reduzierung des  Spülwasserverbrauchs gesenkt werden. Eine konstante Spülwasserqualität ist unter anderem Garant für die Erzielung einer gleichbleibend hohen Zelleffizienz.

Wirtschaftlichkeitsprüfung

Nur mit rationellen Produktionsprozessen und einer hohen Maschineneffizienz sind Ihre Leistungsmöglichkeiten auf dem neuesten Stand, um Ihnen einen Wettbewerbsvorteil zu verschaffen. Mit einer Wirtschaftlichkeitsprüfung der heutigen Erfordernisse können wir Ihnen zeigen, welche Verbesserungspotenziale in Ihrer Maschine stecken.

Modifikation
Dank unserer umfangreichen Möglichkeiten zur Modifikation Ihrer Maschine, können Sie effektiv auf Veränderungen in Ihren Produkt- und Kundenanforderungen reagieren, ohne zu früh in neue Maschinen zu investieren.

Funktionsverbesserung
Gemeinsam mit unserem erfahrenen Team können Sie Ideen zum Upgrade Ihrer Maschine entwickeln, mit dem Sie ihre Leistung verbessern. Durch die Installation zusätzlicher Module und Komponenten oder durch die Anwendung neuer Steuerungs- und Automatisierungstechnologien lassen sich die Funktionen erheblich erweitern.

Vorteile

  • Individuelle betriebliche Anforderungen können problemlos angepasst werden
  • Sie können das Wissen unserer Forschungs- und Technologiezentren umfassend nutzen
  • Ein Upgrade erhöht den Wert und die Leistung
  • Betriebskosten werden gespart und die Leistung erhöht