Load Cell Line

Die Load Cell Line garantiert die Beladung der Zellprozesslinie mit fehlerfreien Wafern. Hierfür werden die Wafer berührungslos und on-the-fly auf die geforderten Qualitätskriterien (standardmäßig μ-crack, TTV und Geometrie) hin überprüft und gegebenenfalls aussortiert.


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Der modulare Aufbau aus Multi Lane Loader, Metrology und Cell Diverter erlaubt eine optimale Anpassung der Load Cell Line an die Forderungen hinsichtlich Durchsatz, Spuranzahl und Platzbedarf. Für den folgenden Zellprozess werden die Wafer dabei entweder von einer oder zwei Einlaufspuren auf 10 Spuren umgesetzt oder von einer Spur auf fünf Spuren.

Höheren Anforderungen an die Qualitätskontrolle entsprechend, können die Inspektionssysteme optional erweitert werden (Loch- und Risserkennung, Oberflächenmessung, Lebensdauer- und Widerstandsmessung).

  • Qualitätskontrolle vor Prozessbeginn
  • Höchster Durchsatz bis zu 7600 Wafer pro Stunde
  • Geeignet für Prozessanlagen mit bis zu 10 Spuren
  • Bruchausschleusung vor den Mess-Systemen