Der modulare Aufbau aus Multi Lane Loader, Metrology und Cell Diverter erlaubt eine optimale Anpassung der Load Cell Line an die Forderungen hinsichtlich Durchsatz, Spuranzahl und Platzbedarf. Für den folgenden Zellprozess werden die Wafer dabei entweder von einer oder zwei Einlaufspuren auf 10 Spuren umgesetzt oder von einer Spur auf fünf Spuren.
Höheren Anforderungen an die Qualitätskontrolle entsprechend, können die Inspektionssysteme optional erweitert werden (Loch- und Risserkennung, Oberflächenmessung, Lebensdauer- und Widerstandsmessung).
