Die Ätz-Module verfügen über oszillierende Düsen, die entweder parallel oder im rechten Winkel zur Förderrichtung angeordnet sind. Dadurch erreicht SCHMID eine gleichmäßige Ätzrate auf der gesamten Plattenfläche. Eine permanente Überwachung der Prozessparameter garantiert ideale Ätzergebnisse.
Alkalisches Ätzen
Das alkalische Ätzen ist die erste Wahl beim Ätzen von Außenlagen. Zur Entfernung des freiliegenden Kupfers wird eine stark alkalische Lösung auf Ammoniakbasis verwendet.
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