Die Ätz-Module verfügen über oszillierende Düsen, die entweder parallel oder im rechten Winkel zur Förderrichtung angeordnet sind. Dadurch erreicht SCHMID  eine gleichmäßige Ätzrate auf der gesamten Plattenfläche. Eine permanente Überwachung der Prozessparameter garantiert ideale Ätzergebnisse.