Dünnschicht

Alternativ zu kristallinen Siliziumzellen kommen Dünnschichtzellen zum Einsatz, die in verschiedene Zelltypen unterteilt werden: Amorphe oder mikrokristalline Dünnschicht-Siliziumzellen; auf Cadmiumtellurid basierende Dünnschichtzellen und CIGS (eine Kombination aus Kupfer, Indium, Gallium Schwefel, Selen). SCHMID bietet hier Prozess-Equipment zur Reinigung des Trägermaterials und Haftungsverbesserung der Schutzschichten an.


Prozesslösungen für Dünnschicht Photovoltaik

In der Dünnschicht-Solartechnologie erfolgt die Abscheidung des Halbleiters auf einem Glassubstrat – im Gegensatz zur kristallinen Solartechnologie. Die leitende Schicht ist dabei rund 100 mal dünner als bei der kristallinen Technologie. Die Produktion im kommerziellen Maßstab konzentriert sich auf c-Si (kristallines Silizium) und Dünnschicht-Technologie. SCHMID hat bereits Dünnschicht-Equipment – Nassprozesse, thermische Prozesse / Öfen und Automation für CdTe, CIGS und GaAs – für mehr als 5 GW installiert. Die größten Hersteller von Dünnschichtsolarmodulen gehören dabei zu den Kunden.

SCHMID bietet Equipment für das Reinigen, Ätzen und die thermischen Prozesse verschiedener Dünnschicht-Prozesse. Jede Maschine wird kundenspezifisch erstellt.

Technologien

TechnologieReinigenÄtzenThermisch
CdTeGlass Cleaning

Post Process Clean

KCN Etching

CdCl2 Etching

NP Etching

Activation Furnace
GaAsSubstrate CleaningDevelop & Strip

Texturing

Mesa Etching

 
CIGSKCN Etching

CdCl2 Etching

 Glass Sintering
 

Details