Hochreines Diffundieren, Annealing und Oxidieren
Der Diffusionsofen HTF ist mit bis zu 4 einzeln steuerbaren Rohren ausgestattet. Die Be- und Entladung der Boote in die Rohre erfolgt automatisch über Beladeeinheiten. Pro Zyklus wird in einem Rohr ein Boot geladen, bei „Back to back“ Beladung kann ein Boot mit 500 Wafern bestückt werden. Nach dem Einfahren und Aufheizen startet der Prozess mit einem Stabilisierungsschritt. Danach wird Stickstoff als Trägergas für die POCl3-Flüssigkeit eingesetzt. Als Prozessabschluss findet ein Oxidationsschritt statt. Nach Ablauf der eingestellten Diffusionszeit wird das Rohr zur anschließenden Entladung geöffnet.
