Modernisierung

Ihre Produktionsanlage von gestern kann schon bald eine Produktionsanlage von morgen sein. Denn nach einer Maßnahme durch unsere Experten ist sie so gut wie neu – und das zu einem deutlich günstigeren Preis als eine Neuanschaffung.


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Rüsten Sie Ihre Anlagen kostengünstig nach

Upgrade: Abluftvolumenstromregler

Durch den Einsatz eines Abluftvolumenstromreglers sind konstante Abluftströme auch bei Schwankungen im Abluftnetz gewährleistet. Dies hat einen stabileren Prozess in Hinsicht auf Chemieverbrauch zur Folge. Auch wird die Sicherheit des Bedienpersonals erhöht.

Upgrade: Wassermaske

Durch den Schutz der Wafer-Oberseite mit einem beheizten Wasserfilm (bis 50 °C) erfolgt die Kantenisolation lediglich mit minimalem Umgriff der Chemie auf die Vorderseite. Eine individuelle Benetzung für jede Spur bei Druckdifferenzen wird ermöglicht durch verstellbare Öffnungszeiten der Magnetventile je Spur. Ein weiterer Vorteil der patentierten Wassermaske besteht in einer höheren Ätzrate aufgrund der erwärmten Wafer, was einen höheren Durchsatz zur Folge hat.

Upgrade: Optimierte Transportwalze

Durch den Einsatz einer optimierten Transportwalze erfolgt die einseitige Ätzung zur Kantenisolation mit minimalem Umgriff der Chemie auf die Vorderseite des Wafers. Es wird sowohl der Chemieverbrauch verringert als auch ein homogenes Ätzergebnis erzielt.

Upgrade: Härtere Quetschwalzen

Durch den Einsatz der neuen, härteren Quetschwalzen lässt sich die Verschleppung um 50 % reduzieren, wodurch der Spül- und Abwasserverbrauch um ca. 20 % gesenkt werden kann. Da die neuen Quetschwalzen deutlich einfacher zu reinigen sind, lässt sich auch die Lebensdauer der Walzen erhöhen. Der Austausch der alten Quetschwalzen (Softrollers) lässt  sich problemlos durchführen.

Upgrade: Opt. Reflexionsmessgerät

Mit Hilfe des von SCHMID entwickelten Reflexionsmessgeräts werden Wafer direkt nach dem Texturierungsprozess im Auslauf überprüft. Durch diese Inline-Prozesskontrolle wird eine gleichbleibend hohe Qualität der texturierten Wafer gewährleistet. Etwaige Veränderungen im Prozess fallen direkt auf, wodurch schnell reagiert werden kann. Dadurch lassen sich allgemein Ertragsverbesserungen erzielen.

Upgrade: Niederhalterwelle ohne O-Ringe

Es werden nun neu konzipierte Niederhalterwellen ohne O-Ringe eingesetzt. Diese hinterlassen keine Abdrücke auf den Wafern. Zudem ermöglicht der modifizierte Vorschub eine einfache Reinigung der Wellen. Eine organische Verschmutzung der Wafer durch das Transportsystem ist damit ausgeschlossen.

Upgrade: MES – SECS/GEM-Interface

SECS/GEM-Schnittstellen (Gerätekommunikationsschnittstellen) realisieren die Verbindung zwischen der Anlage und der übergeordneten Ebene (MES – Manufacturing Execution System). Über den SECS/GEM-Standard werden Produktions- und Anlagendaten, Alarme, Prozesswerte, Prozessparameter, etc. übergeben und von einem MES verarbeitet und ausgewertet.

Upgrade: Leitfähigkeitsmesssystem

Durch den Einsatz eines Leitfähigkeitsmesssystems wird die Verschleppung aus dem Prozessmodul überwacht, wodurch die Prozessstabilität im Kaskadenspülmodul gewährleistet wird. Des Weiteren können die Betriebskosten durch die Reduzierung des  Spülwasserverbrauchs gesenkt werden. Eine konstante Spülwasserqualität ist unter anderem Garant für die Erzielung einer gleichbleibend hohen Zelleffizienz.

Upgrade: Antistatikleiste

Durch die Anbringung einer Antistatikleiste werden unkontrollierte statische Entladungen der Leiterplatte verhindert, welche sich sonst negativ auf die Bauteile auswirken und Ausschuss zur Folge haben. Die Prozesssicherheit wird anhand der Antistatikleiste erhöht, insbesondere bei Embedded Components.

Upgrade: Bürstsystem BON/BUN-2 – Bürstaufnahme für eine Bürste

Der Einsatz einer weiteren Bürstaufnahme sorgt für kürzere Bürstwechselzeiten, da bereits vorab eine zweite Bürste auf eine weitere Bürstaufnahme montiert wird. Dies ermöglicht eine komfortablere und zügigere Montage der neuen Bürste sowie eine deutliche Verringerung der Stillstandzeit.

Upgrade: Druckluft-Abdosierungspumpe

Durch den Einsatz einer Druckluftmembranpumpe wird ein Teil der verbrauchten Ätzlösung aus dem Modulsumpf abgepumpt, bevor das frische Ätzmittel (Replenisher) zudosiert wird. Somit wird vermieden, dass das frische Ätzmittel bei Feed- und Bleed-Prozessen zum Überlauf herausfließt und es kann Chemie eingespart werden.

Upgrade: Druckmesssystem Kaskade

Der Einsatz des Druckmesssystems erlaubt eine Überwachung des Sprühdruckes in Kaskadenspülen sowie eine bessere Prozesskontrolle. Sowohl eine laufende Überprüfung der Sprühdüsen als auch die Überwachung der vorgelagerten Filter auf Verstopfung werden hierdurch ermöglicht.

Upgrade: Elofast Filterrückspülung

Durch die Elofast Filterrückspülung wird die Chemie im Filter durch Spülwasser ersetzt. Dies ermöglicht einen servicefreundlicheren Filterwechsel durch eine geringere Geruchsbelästigung durch Ammoniak.

Upgrade: Frame Tracking (RFID)

Anhand RFID wird eine bessere Kontrolle des Herstellungsprozesses der Leiterplatte sowie eine lückenlose Reproduzierbarkeit der Prozessdaten ermöglicht. Hierbei werden die Transportrahmen im Durchlauf identifiziert. Durch die Erfassung der Transportrahmen-
ID kann jederzeit abgerufen werden, welcher der Rahmen die Anlage passiert und wie viele Zyklen dieser bereits durchlaufen hat. Das Tracking mit Prozessdatenzuordnung ermöglicht zudem eine Optimierung der Prozessparameter sowie eine Verbesserung der Transportrahmen-Wartungsplanung.

Upgrade: Glasdeckel mit UV-Schutz

Durch das Anbringen eines UV-Schutzes auf dem Glasdeckel im Entwickler lässt sich eine unkontrollierte Belichtung des Resists verhindern. Dadurch kann ein deutlich höherer Yield erzielt werden. Optional bietet eine Kunststoffabdeckung über dem Einlaufmodul einen zusätzlichen Belichtungsschutz.

Upgrade: Kaskade mit Leitfähigkeitsmesssystem

Der Einsatz eines Leitfähigkeitsmesssystems ermöglicht eine konstante Überprüfung der Spülwasserqualität. Durch die Überwachung der Verschleppung von Chemie aus dem Prozessmodul wird die Spülqualität im Kaskadenspülmodul, insbesondere in der letzten Kaskade, gewährleistet. Der Verbrauch des Spülwassers kann an den entsprechenden Leitwert angepasst werden. Das Leitfähigkeitsmesssystem hilft somit, den Spülwasserverbrauch zu senken und Kosten zu sparen.

Upgrade: LED-Lampen AZM

Die Umrüstung auf 24V LED-Energiesparlampen geht mit einer Reduktion des Energieverbrauchs sowie einer Standzeiterhöhung einher. Darüber hinaus können mit LED-Lampen in 24V-Technik die Brandschutzmaßnahmen weiter verbessert werden.

Upgrade: Luftmesser Trockner

Durch den Einsatz eines Druckluft-Luftmessers anstelle eines Luftmessers mit oszillierenden Druckluftdüsen wird der Luftverbrauch deutlich verringert. Das Upgrade ist zudem effektiver aufgrund des durchgängigen Luftstrahls über die gesamte Arbeitsbreite. Die Druckluft-Luftmesser sind speziell bei Trocknungsproblemen von Bohrlöchern mit hohem Aspect Ratio und Blind Vias geeignet. Da keine bewegten mechanischen Teile vorhanden sind, ist auch die Störanfälligkeit geringer.

Upgrade: Motorbetriebene Drosselklappe (Absaugung)

Durch den Einbau einer motorbetriebenen Drosselklappe in der Absaugung bei Prozessmodulen kann die Konzentration und die Temperatur der Chemie länger erhalten werden. Dadurch lässt sich Energie für die Temperatur- sowie Wasser zur Konzentrationserhaltung einsparen. Die Energiebilanz der Anlage verbessert sich deutlich.

Upgrade: Niveauüberwachung für Bodentasse

Um bei einer Leckage frühzeitig in der Bodentasse aufgestaute Flüssigkeit zu erkennen und den Operator entsprechend auf eine Störung hinzuweisen, werden Leckage-Sensoren für die Bodentasse eingesetzt. Je nach Inhalt der Bodentasse kann hiermit auch die Sicherheit im Anlagenbereich erhöht werden.

Upgrade: Redox Sensor mit Potentialausgleich und Temperaturkompensation

Durch den Einsatz eines Redox Sensors mit Potentialausgleich und Temperaturkompensation lassen sich übereinstimmende Messergebnisse zwischen Labormesswerten und Messwerten an der Anlage im Produktivbetrieb erzielen. Temperaturbedingte Messabweichungen werden vermieden.

Upgrade: Sanftstarter zum Schutz der Schwebekörper-Durchflussmesser

Durch das Softstarten der Prozesspumpen wird die hydraulische Belastung für Rohrleitungen und Schwebekörper-Durchflussmesser deutlich verringert. Der Einsatz eines Sanftstarters schützt so die Bauteile und erhöht damit deren Standzeit bzw. Lebensdauer.

Upgrade: Schallschutz im Trockner

Durch das Anbringen einer speziellen Schallschutzhaube können die akustischen Emissionen bei Maschinenbetrieb um mindestens 3-5 dB(A) reduziert werden. Verglichen mit der Ausgangssituation ist eine Verringerung des Schalldruckpegels je nach Ausstattung des Trocknermoduls sowie der Umgebungsbedingungen vor Ort bis zu 50% möglich.

Upgrade: Schlitzverkleinerung zw. Prozess- und Spülmodul

Die Schlitzverkleinerung zwischen Prozessmodul und Spülmodul ermöglicht eine Reduzierung der Verschleppung von Chemie. Hierdurch wird der Wasserverbrauch in der Spüle verringert und es können Kosten eingespart werden. Zudem reduziert sich der Aufwand hinsichtlich der Abwasseraufbereitung.

Upgrade: Überwachung der Drehbewegung des Trommelfilters

Durch den Einsatz eines Sensors wird umgehend erkannt, wenn die Trommel des Trommelfilters keine Drehbewegung mehr ausführt und folglich nicht mehr filtert. Die Prozesssicherheit des Strippers wird erhöht, Störungen durch Düsenverstopfungen oder überladene Stripperlösungen werden vermieden.

Upgrade: Wasser-Druckluft-Spülung für Trommelfilter

Durch eine Kombination aus Wasser und Druckluft zur Sauberhaltung der Trommel von Resistschlamm ist ein weitaus effektiveres Reinigen möglich. Dies wirkt sich positiv auf die Prozessstabilität aus, insbesondere führt der Einsatz von Druckluft zur Reinigung des Trommelfilters zu einer geringeren Verdünnung der Prozesschemie.

Upgrade: Tropfrohr vor Ätzer

Durch den Einsatz eines Replenisher-/ Wassertropfrohrs vor alkalischen oder Fe2Cl3-Ätzern werden Ablagerungen auf den Vorschubteilen reduziert. Die sauberen Walzen generieren weniger Verschleiß, eine Beeinträchtigung der Prozessqualität sowie verunreinigte Leiterplatten werden vermieden. Darüber hinaus vergrößern sich die Wartungsintervalle für die Anlage.

Wirtschaftlichkeitsprüfung

Nur mit rationellen Produktionsprozessen und einer hohen Maschineneffizienz sind Ihre Leistungsmöglichkeiten auf dem neuesten Stand, um Ihnen einen Wettbewerbsvorteil zu verschaffen. Mit einer Wirtschaftlichkeitsprüfung der heutigen Erfordernisse können wir Ihnen zeigen, welche Verbesserungspotenziale in Ihrer Maschine stecken.

Modifikation
Dank unserer umfangreichen Möglichkeiten zur Modifikation Ihrer Maschine, können Sie effektiv auf Veränderungen in Ihren Produkt- und Kundenanforderungen reagieren, ohne zu früh in neue Maschinen zu investieren.

Funktionsverbesserung
Gemeinsam mit unserem erfahrenen Team können Sie Ideen zum Upgrade Ihrer Maschine entwickeln, mit dem Sie ihre Leistung verbessern. Durch die Installation zusätzlicher Module und Komponenten oder durch die Anwendung neuer Steuerungs- und Automatisierungstechnologien lassen sich die Funktionen erheblich erweitern.

Vorteile

  • Individuelle betriebliche Anforderungen können problemlos angepasst werden
  • Sie können das Wissen unserer Forschungs- und Technologiezentren umfassend nutzen
  • Ein Upgrade erhöht den Wert und die Leistung
  • Betriebskosten werden gespart und die Leistung erhöht

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