Neue Ätz-Optionen
Neue Ätz-Optionen
Für perfekte Ätz-Ergebnisse
Eine um bis zu 20 % erhöhte Ätz-Geschwindigkeit, Linien-/Raumstrukturen von weniger als 50 μm und Ätz-Faktoren von mehr als 6: Die neuen Ätz-Optionen (NEO) ermöglichen einen perfekten Ätz-Prozess mit Qualitäten, die bis vor kurzem als unerreichbar galten. Sowohl für Differential-Ätzen als auch für Leiterbahnen-Ätzen. Bestehende PremiumLine Ätz-Module von SCHMID können nachgerüstet werden.
Einzelheiten
Vakuum-Ätzen
Das Vakuum-Ätzen bildet die Schlüsselkomponente der neuen Ätz-Optionen. Um den „Pfützeneffekt“ zu minimieren sind zwischen den Düsenrohren Sauglanzen installiert, die das verbrauchte Ätz-Medium aufnehmen und in den Modultank leiten. Leistungsstarke Vakuumgebläse erzeugen einen konstanten Unterdruck. Anders als bei Wasserstrahlpumpen bricht das Vakuum nie zusammen – egal, ob die höhenverstellbaren Sauglanzen verbrauchtes Ätz-Medium oder austretende Luft ansaugen. Das Ergebnis ist eine absolut gleichmäßige Ätz-Rate und weniger Chemieverbrauch.
Optimiertes Transportsystem
Die optimierte Platzierung der Transportscheibenwalzen innerhalb des standardisierten Ätz-Moduls stellt eine weitere neue Ätz-Option dar. Neben dem Vakuum-Ätzen führt die verbesserte Konstruktion und Platzierung der Transportscheibenwalzen zu einem verbesserten Ablaufverhalten der Prozesschemie, wodurch der „Pfützeneffekt“ spürbar verringert wird.
Düsenkonfiguration
Mit der optimierten Düsenanordnung bietet das SCHMID-System maximale Flexibilität, da es sich an jedes zu ätzende Design anpasst und die Ätz-Prozesse verfeinern kann. Eine gleichmäßige Druckverteilung an den Düsen (bis zu 4 bar Sprühdruck) verbessert nicht nur das Ätz-Ergebnis, sondern erhöht auch die Ätz-Rate. Infolgedessen wird die Prozesszeit des anschließenden intermittierenden Ätzens verkürzt.
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