APCVD System

APCVD System

Kostengünstige Inline-Abscheidung von Dünnschichten

Die APCVD-Anlage der Serie 5500 eignet sich hervorragend für die kostengünstige Verarbeitung hoher Stückzahlen für alle Zellarchitekturen, die eine ein- oder mehrschichtige dielektrische Dünnschichtabscheidung erfordern. Das horizontale Inline-Design von SCHMID stellt sicher, dass jedes Substrat die gleiche Prozessbehandlung erfährt, was zu einer hervorragenden Schichtgleichmäßigkeit führt. Die APCVD-Technologie ist einseitig beschichtend und daher hocheffizient und bietet eine unerreichte wirtschaftliche Leistung für verschiedene Anwendungen wie Topcon, n-PERL oder IBC-Solarzellenherstellung.

Produktvorteile

Hervorragend geeignet für die Bor-Dotierung von n-Typ-Solarzellen

Abscheidung von Poly-Silizium für passivierte Kontakte

Niedrige Betriebskosten aufgrund geringer Versorgungsanforderungen

Wartungsbewusstes Design ermöglicht den Zugang zum Innenraum mit nur einem Knopfdruck

Kleine Stellfläche

Bewährt in der Massenproduktion

Erstklassige-HMI mit integrierter Profilerstellung, Daten- und Ereignisprotokollierung und Touchscreen-Schnittstelle

Einzelheiten

Das APCVD-System von SCHMID bietet die kostengünstigste Alternative für die Abscheidung dielektrischer Schichten. Beim Rollentransportsystem wird während des Prozesses nur das Substrat erhitzt, so dass der Bedarf an Strom und Kühlung stark reduziert wird. Mehrere Injektorköpfe können in einem einzigen APCVD-System in Reihe verwendet werden. Eine dreistufige, energiesparende Isolierung senkt die Energierechnung weiter. Das Inline-System ist in zwei Konfigurationen erhältlich: mit Bandtransport oder mit Rollentransport. Jede Transportmethode hat ihre Vorteile.

Das produktionserprobte APCVD-System von SCHMID umfasst mehrere Injektorköpfe in Serie, um den Prozessdurchsatz, die Gleichmäßigkeit und die Flexibilität zu maximieren und gleichzeitig die Kosten zu minimieren. Die erstklassige HMI ermöglicht dem Kunden die einfache Überwachung und Steuerung aller Prozessparameter in einer benutzerfreundlichen Touchscreen-Umgebung. Die wartungsfreundliche Konstruktion ermöglicht die Reinigung der chemischen Injektoren und der Abluftleitungen in der Anlage und so ohne nennenswerte Prozessunterbrechung. Modulare chemische Dampfeinspritzköpfe ermöglichen eine schnelle und einfache Installation und Demontage aus der Beschichtungskammer. Alle Injektorkopfteile sind langlebige, präzisionsgefertigte Strukturen, die auch nach längerem Gebrauch eine genaue Chemikalienabgabe gewährleisten.

Thermische Anlagen von SCHMID sind für ihre Prozessstabilität bekannt und die APCVD-Anlage setzt diese Tradition fort. Eine stabile, unübertroffene Temperaturgleichmäßigkeitskontrolle gewährleistet konstante Prozessergebnisse. Darüber hinaus garantieren präzise Prozessabsaug- und Precursor-Flusskontrollen gleichbleibende Filmergebnisse.

Technische Daten

Abmessungen (LxBxH):

  • 3,3 x 1,9 x 2,3 m (Rollentransport)

Konfiguration der Abscheidekammer:

  • Rollentransport: 2 unabhängige Kammern
  • Bandtransport: 3 oder 5 unabhängige Kammern
  • In jeder Kammer kann jeder verfügbare Film abgeschieden werden

Laden:

  • M2 – M12
  • Rollentransport: 5 Spuren
  • Bandtransport: 4 Spuren

Durchsatz:

  • 1.450 – 4.500 Wafer/h (je nach Schichtdicke)

Anwendungen:

  • Undotiertes SiO2 (USG)
  • Bor-dotiertes SiO2 (BSG)
  • Phosphor-dotiertes SiO2 (PSG)
  • TiO2
  • Poly-Silizium

Sonstige Ausstattungen für Photovoltaik & Glas

AGTex

Oberflächenveredelung für Glas
Die AGTex bietet innovative Methoden zur Bearbeitung und Veredelung von Glasoberflächen. Die Technologie eignet sich besonders für die Herstellung von Antireflexions- und Blendschutzschichten auf Glas.

Alkalische Texturierung

Effiziente Texturierung von monokristallinen Wafern
Das Alkaline-Texturing-Inline-System von SCHMID sorgt für die effizienteste Texturierung von monokristallinen Wafern.

Kantenisolierung & PSG-Ätzen

Einseitige Kantenisolierung für maximale Effizienz
Das Edge-Isolation- und PSG-Ätz-Inline-System erreicht vollautomatisch eine perfekte Kantenisolierung. In Kombination mit der patentierten Wassermaske wird der Strahler optimal isoliert.

Polysilizium- & BSG-Ätzen

Poly-Silizium- & BSG-Ätzen für TOPCon Manufacturing
Das alkalische Poly-Si- und BSG-Ätz-Inline-System erreicht eine perfekte Reinigung der Sonnenseite für n- und p-dotiertes Polysilizium und Boroan-Glas Entfernung.

Alkalisches Polieren für PRTC und TOPCon

NOx-freie Kantenisolierung und Polieren
Das Alkaline-Edge-Isolation-Inline-System erreicht eine perfekte Kantenisolierung mit einer alkalischen Lösung.

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