Alkalisches Polieren für PERC und TOPCon
NOx-freie Kantenisolierung und Polieren
Das Alkaline-Edge-Isolation-Inline-System erreicht eine perfekte Kantenisolierung mit einer alkalischen Lösung. Horizontales Inline-System in einem Schritt für die Herstellung von PERC- und TOPCon-Zellen ohne Kassetten.
Einzelheiten
Die alkalische Polieranlage vereint mehrere Prozessschritte in einem modularen System. Zum einen wird die Emitterschicht auf der Rückseite des Wafers, die während des Diffusionsprozesses aufgewachsen ist, einseitig von der Vorderseite isoliert und zum anderen wird die Rückseite der Zelle geglättet und für eine perfekte Oberflächenpassivierung vorbereitet.
Die Maschine kann jederzeit auf das TOPCon-Verfahren umgerüstet werden. Das bedeutet, dass das dotierte Glas auf der Vorderseite für das TOPCon-Verfahren nicht entfernt wird. Für das PERC-Verfahren wird das dotierte Glas (PSG/BSG) auf der Vorderseite entfernt. So kann jedes PERC-System leicht in ein TOPCon-Produktionssystem umgewandelt werden.
Anstelle teurer Säuren wird Kaliumhydroxidlösung (KOH) verwendet. Die Vorteile liegen auf der Hand: Es entstehen keine Stickoxide (NOx), die aufwendig abgesaugt und anschließend teuer entsorgt werden müssen. Damit lassen sich die immer strengeren Umweltauflagen problemlos erfüllen. Darüber hinaus gewährleistet die Verarbeitung bei ca. 80-90°C eine hohe Ätz-Rate und eine Reduzierung des Platzbedarfs der Anlage bei gleichzeitig hohem Durchsatz. Während des Kantenisolier-/Polierprozesses wird der Emitter durch eine von SCHMID entwickelte und patentierte Wassermaske geschützt.
Speziell entwickelte Transportwalzen sorgen dafür, dass das Medium Ätzen nur die Rückseite der Zellen benetzt, was zu einer Reduzierung des Chemikalienverbrauchs führt. Darüber hinaus finden alle notwendigen Prozesse zum Polieren in ein und derselben Maschine statt. Dies ermöglicht den Verzicht auf weitere Maschinen mit der dazugehörigen Automatisierung und Carriern.
Sonstige Ausstattungen für Photovoltaik & Glas
AGTex
Oberflächenveredelung für Glas
Die AGTex bietet innovative Methoden zur Bearbeitung und Veredelung von Glasoberflächen. Die Technologie eignet sich besonders für die Herstellung von Antireflexions- und Blendschutzschichten auf Glas.
Alkalische Texturierung
Effiziente Texturierung von monokristallinen Wafern
Das Alkaline-Texturing-Inline-System von SCHMID sorgt für die effizienteste Texturierung von monokristallinen Wafern.
APCVD-System
Kostengünstige Inline-Abscheidung von Dünnschichten
Die APCVD-Anlage der Serie 5500 eignet sich hervorragend für die kostengünstige Verarbeitung hoher Stückzahlen für alle Zellarchitekturen, die eine ein- oder mehrschichtige dielektrische Dünnschichtabscheidung erfordern.
Kantenisolierung & PSG-Ätzen
Einseitige Kantenisolierung für maximale Effizienz
Das Edge-Isolation- und PSG-Ätz-Inline-System erreicht vollautomatisch eine perfekte Kantenisolierung. In Kombination mit der patentierten Wassermaske wird der Strahler optimal isoliert.
Polysilizium- & BSG-Ätzen
Poly-Silizium & BSG Ätzen für TOPCon Manufacturing
Das alkalische Poly-Si- und BSG-Ätz-Inline-System erreicht eine perfekte Reinigung der Sonnenseite für n- und p-dotiertes Polysilizium und Borglasentfernung.
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