Alkalische Texturierung

Einzelheiten

Die alkalische Texturierung wird bei monokristallinen Wafern angewendet. Sie beseitigt die durch den Sägeprozess verursachten Verunreinigungen und Beschädigungen. Die gleichmäßige, pyramidenförmige Oberfläche reduziert die Reflexion und beeinflusst damit entscheidend die Zelleffizienz.

SCHMIDs alkalisches Inline-Texturierungssystem erzielt perfekte Oberflächenqualitäten mit Reflexionswerten von weniger als 12 %. Durch den horizontalen Inline-Prozess ist weniger Ätzabtrag erforderlich und es gibt keine Nacharbeit aufgrund von Waferanhaftungen. Eine spezielle Berieselungsvorrichtung berieselt die Wafer sehr schonend und ermöglicht so die Bearbeitung von Wafern mit einer Dicke von bis zu 100μm. Der kontinuierliche Austausch des Ätzen Mediums führt zu kürzesten Prozesszeiten.

Zusammen mit der automatischen Dosierung und der Badüberwachung hat der Maschinenbediener zu jeder Zeit die volle Kontrolle über den gesamten Prozess. Am Ende sorgt das geräuscharme Trocknermodul Dry Jet mit seinem energieeffizienten Seitenkanalgebläse für gleichmäßig und makellos getrocknete Wafer.

Service- und Wartungsarbeiten können schnell und einfach durchgeführt werden. Alle Komponenten sind leicht zugänglich. Die Transportrollen können mit einem Handgriff entfernt werden. Das ausgeklügelte Transportsystem kommt ohne Oberwalze aus. So gibt es keine Laufspuren. Und dank des modularen Aufbaus des Inline-Systems können Durchsatz und Prozessschritte an die Bedürfnisse der Kunden angepasst werden.