APCVD System

Einzelheiten

Das APCVD-System von SCHMID bietet die kostengünstigste Alternative für die Abscheidung dielektrischer Schichten. Beim Rollentransportsystem wird während des Prozesses nur das Substrat erhitzt, so dass der Bedarf an Strom und Kühlung stark reduziert wird. Mehrere Injektorköpfe können in einem einzigen APCVD-System in Reihe verwendet werden. Eine dreistufige, energiesparende Isolierung senkt die Energierechnung weiter. Das Inline-System ist in zwei Konfigurationen erhältlich: mit Bandtransport oder mit Rollentransport. Jede Transportmethode hat ihre Vorteile.

Das produktionserprobte APCVD-System von SCHMID umfasst mehrere Injektorköpfe in Serie, um den Prozessdurchsatz, die Gleichmäßigkeit und die Flexibilität zu maximieren und gleichzeitig die Kosten zu minimieren. Die erstklassige HMI ermöglicht dem Kunden die einfache Überwachung und Steuerung aller Prozessparameter in einer benutzerfreundlichen Touchscreen-Umgebung. Die wartungsfreundliche Konstruktion ermöglicht die Reinigung der chemischen Injektoren und der Abluftleitungen in der Anlage und so ohne nennenswerte Prozessunterbrechung. Modulare chemische Dampfeinspritzköpfe ermöglichen eine schnelle und einfache Installation und Demontage aus der Beschichtungskammer. Alle Injektorkopfteile sind langlebige, präzisionsgefertigte Strukturen, die auch nach längerem Gebrauch eine genaue Chemikalienabgabe gewährleisten.

Thermische Anlagen von SCHMID sind für ihre Prozessstabilität bekannt und die APCVD-Anlage setzt diese Tradition fort. Eine stabile, unübertroffene Temperaturgleichmäßigkeitskontrolle gewährleistet konstante Prozessergebnisse. Darüber hinaus garantieren präzise Prozessabsaug- und Precursor-Flusskontrollen gleichbleibende Filmergebnisse.