InfinityLine C+

Berührungsloser Schleudervorgang

InfinityLine C+ ist ein berührungsloses, doppelseitiges vertikales Spinnprozess-Cluster-Werkzeug. Das Gerät kann mit bis zu sechs verschiedenen Einzelprozesskammern konfiguriert werden. Jede von ihnen ist mit einer Rotationseinheit, einem servogetriebenen Sprüharm, Spüldüsen und anderen optionalen Funktionen ausgestattet. Um die Betriebskosten so gering wie möglich zu halten, ist die Kammer versiegelt und wird nur durch einen Plattenwechsel entlüftet. Die Chemikalien werden durch Druck transportiert, ohne dass Pumpen notwendig sind. Der Chemikalienverbrauch wird durch eine optimale Verteilung über die Platte mit dem servogesteuerten Sprüharm zusammen mit der Plattenrotation auf ein Minimum reduziert. Mit diesem Gerät können Prozesse mit perfekter Verteilung, definierter Prozesszeit und bei Bedarf unter ISO6-Reinraumbedingungen (optional) durchgeführt werden.

Produktvorteile

Lösung für High-End-HDI+- und IC-Substrate (Strukturen bis zu 2 μm)

Berührungslose Verarbeitung

Grüne Fertigungslösung mit geringstem Verbrauch an Energie, Chemie und Abluft

Verschiedene Prozessabläufe in einer Kammer möglich

Ermöglicht 100 % definierte Prozesszeiten

Reinraum ISO6 (optional)

Einzelheiten

Die InfinityLine C+ ist ein modulares, vertikales berührungsloses Spin-Cluster. Der Spannrahmen zum Halten des Substrats an der Kante ist derselbe, der auch in anderen berührungslosen Linien von SCHMID, wie z.B. der InfinityLine V+, verwendet wird. Dies macht es einfach, verschiedene berührungsfreie Maschinen von SCHMID in einer Produktion zu kombinieren.

Die vertikale Rotation des Substrats in Verbindung mit dem servogesteuerten Sprüharm ermöglicht genau definierte Prozesse hinsichtlich Prozesszeit, Druck und Chemieverteilung. Dies ermöglicht Produktstrukturen bis zu 2 μm und darunter. Bei Bedarf in einer ISO6-Reinraumumgebung (optional).

Ein weiterer Vorteil der InfinityLine C+ ist die Möglichkeit, verschiedene Prozesse in einer Kammer durchzuführen. Das senkt die Handlingbewegungen und erhöht den Ertrag. Der InfinityLine C+ unterstützt alle Anforderungen von Industrie 4.0. Es stehen verschiedene Schnittstellen zum Kunden-MES zur Verfügung. Das webbasierte HMI ermöglicht die Bedienung und Steuerung der Anlage von verschiedenen Geräten aus.

Technische Daten

Allgemeine Informationen:

Substratdicke: 0,025 mm – 3,0 mm
Substratabmessungen:
- Minimum: 12″ x 24″ (457 x 610 mm)
- Maximum: 24″ x 24″ (610 x 610 mm)
SCHMID-Spannrahmen erforderlich
Max. Durchsatz 2 Platten/min

Prozesskammer:

Jede Kammer ist mit verschiedenen Prozessen und verschiedenen Mehrfachprozessverfahren programmierbar
Chemikalienversorgung über Überdrucksystem
Rotationsgeschwindigkeit bis zu 200 U/min
Druck bis zu 4 bar
Prozesstemperatur bis zu 60°C
Reinraum ISO6 optional